1、招标条件
项目概况:包1 全自动上下膜机 1台 包2 椭偏仪 1套 包3 辉光放电原子仪 1套 包4 AIXTRON G4升级 1台（套） 包5 步进投影曝光机 1台 包6 全自动分选机 20台 包7 电加热-水洗式尾气处理器 1台（套） 包8 Plasma清洗设备 4台 包9 水洗式尾气处理器 1台（套） 包10 E-Gun ITO蒸镀机 1台（套） 包11 PSS缺陷及反射率检测设备 2台（套） 包12 光学晶片综合测试仪 1 台
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:步进投影曝光机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号产品名称数量简要技术规格备注
1全自动上下膜机1台贴膜指标：均匀、无气泡、切割边无瑕疵
2椭偏仪1套光谱测试间隔：≤3nm
3辉光放电原子仪1套恒温系统：光谱仪恒温区温度变化±0.1°C
4AIXTRON G4升级1台（套）新大石墨轉盤動態水平度調整，Wobble < 150um
5步进投影曝光机1台晶圆尺寸：兼容2/4/6inch
6全自动分选机20台BIN蓝膜尺寸：210mm*210mm（max）
7电加热-水洗式尾气处理器1台（套）设备最大处理气体容量：不小于400L/min。
8Plasma清洗设备4台晶圆尺寸：适用于4/6英寸
9水洗式尾气处理器1台（套）气体平均处理效率：不低于99%。
10E-Gun ITO蒸镀机1台（套）蒸镀速率 Rate：0.2-5 à / S
11PSS缺陷及反射率检测设备2台（套）稼动率（1年内）：大于95％
12光学晶片综合测试仪1 台精确度 ≤0.5um
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本； 2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 3、投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件 4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
已进入诚信信息库的企业可以投标报名，如在投标报名截止时间前未进行企业诚信入库，将导致无法购买招标文件，由此引起的责任自负。
联系人：徐敏
联系电话：18510906453
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邮箱：
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